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1.無塵室隔間(等級1k及10k)
2.空調系統(冰水主機*3台,水泵*9台,OHU*19台,RCU*25台)
3.電力系統(空調設備電力)
4.排氣系統(洗滌塔*2組、排氣排氣系統*17台)
5.特殊氣體洩漏監控
面積:4994m2