能源再生
生生不息
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中央供應系統

承攬範圍

依據客戶對於各產品製程的特性,作稀釋或性質分析後,精準且安全地供給製程機台端生產時所需之溶劑或化學品之輸送系統。舉例系統如下

  • A.Oxide Slurry Supply System:適用於Oxide Slurry製程之系統
  • B.Tungsten Slurry Supply System:適用於Tungsten Slurry製程之系統
  • C.Copper Slurry Supply System:適用於Copper Slurry製程之系統
  • D.Metrology System:適用於slurry供應系統之精密監測系統
  • E.Lorry供應系統:適用於使用量較大之化學系統
  • F.200L Drum供應系統:適用於使用量較小之化學系統。
  • G.Solvent 供應系統:適用於可燃性及揮發性強之化學系統規劃
  • H.稀釋系統:適用於需將原液透過稀釋後輸送至使用端之系統

技術服務

中央供應系統包含中央Slurry供應系統、中央供酸系統及稀釋系統,分述如下。

中央Slurry供應系統主要依據客戶所需要之各種製程的研磨液,依據特性作稀釋或分析後,以循環方式之管路設計,不斷使研磨液在管路內保持流動以避免研磨液之沈澱所造成的影響,以提供製程機台端生產時所需之研磨液之輸送系統。

中央供酸系統之設計基準為:安全性、潔淨度、穩定性、擴充性、自動化及人性化。並依照客戶之使用量經過精準之計算出主管路末端之壓損及流量,以確保化學品之供應充足。

稀釋系統則經由精密之稀釋比例計算,並透過高解析度之濃度分析儀器作確認無誤後再供應至使用端(P.O.U.)揮發性之有機化學品更依照防爆標準設計之供應系統並透過洩漏偵測及監控系統之雙重保護,有效提高安全等級。

合作夥伴

合作夥伴包含工程顧問公司、設備供應商、技術服務公司,涵蓋各領域及不同技術層,舉例如下。

對於品質優良之合作夥伴,建越提供長期合作夥伴策略;為因應工程的特殊性,我們也不斷開發、尋找合作機會,只為提供給客戶好還要更好的服務品質。